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石英玻璃的結構松馳，在高溫下還允許某些氣體的離子通過(guò)網(wǎng)絡(luò )進(jìn)行擴散，其中以鈉離子的擴散會(huì )快。
石英玻璃的這一性能對于使用者成為重要，例如，半導體工業(yè)用石英玻璃作為高溫容器或擴散管時(shí)，由于半導體材料要求很高的純度，所以要求與石英玻璃接觸的作為爐襯的耐火材料必須預先經(jīng)過(guò)高溫和清潔處理，除掉鉀、鈉等堿性雜質(zhì)，然后才能放入石英玻璃內使用。
在常溫下，可以認為石英玻璃是不透氣的，在高溫（例如700℃）下，某些氣體的透氣常數也很小。因此可以用在高溫高真空裝備中。
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